注入機離子源配件的市場發(fā)展現(xiàn)狀

注入機離子源配件是離子注入機的關鍵構成部分，在半導體制造環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用，其性能表現(xiàn)會對離子注入效果產生影響，與芯片質量和生產效率存在關聯(lián)，市場發(fā)展情況受到行業(yè)廣泛關注。

參考 SEMI 數據，2024 年全球離子注入設備市場規(guī)模達到 276 億元，預計 2030 年可增長至 307 億元 。隨著離子注入機市場規(guī)模擴大，離子源配件需求也相應增加。由于半導體產業(yè)對芯片性能要求不斷提高，先進制程工藝中離子注入步驟增多，對離子源配件性能、精度的標準也隨之提升，這在一定程度上推動了市場規(guī)模的增長。

在市場競爭層面，全球注入機離子源配件市場集中度較高。國際半導體產業(yè)協(xié)會數據顯示，2024 年 AMAT 在全球離子注入設備銷量市場份額占比為 62.65% 。AMAT 通過 RF 離子源實現(xiàn) 100mA 級束流穩(wěn)定性，在離子源配件市場占據優(yōu)勢。Axcelis 的 Eclipse?技術使束流均勻性達到 99.5%，在市場競爭中具有一定優(yōu)勢 。國內在注入機離子源配件領域發(fā)展時間相對較短，國產化比例不高，主要企業(yè)包括凱世通和中科信 。近年來，國內企業(yè)發(fā)展速度加快，凱世通研發(fā)的 28nm 工藝節(jié)點相關離子注入設備實現(xiàn)商業(yè)化，部分產品進入國內重點晶圓廠并獲得批量訂單，在低能大束流離子源配件細分市場逐步發(fā)展 。

綜合來看，注入機離子源配件市場存在發(fā)展空間，但也面臨挑戰(zhàn)。隨著半導體產業(yè)持續(xù)進步，其市場規(guī)模可能進一步擴大，國內企業(yè)在國產替代方面擁有發(fā)展機遇 。