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丹東正芯微電子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的邊境城市遼寧丹東。是一家歷史悠久的生產(chǎn)、加工各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備備品的高新民營(yíng)企業(yè),是半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的中堅(jiān)力量。產(chǎn)品應(yīng)用于美國(guó)、日本、臺(tái)灣等地區(qū)的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化備件。公司有多位長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體行業(yè)的工作人員,聘請(qǐng)業(yè)內(nèi)行家作為本公司顧問(wèn),并與多家科研單位建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。


新聞資訊
  • 蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的防濺射擋板設(shè)計(jì)需從結(jié)構(gòu)和材質(zhì)兩方面綜合考量。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上,擋板的形狀、角度和安裝位置至關(guān)重要。例如,弧形擋板相較于平板式擋板,能更有效地改變?yōu)R射粒子的運(yùn)動(dòng)軌跡,將其反射回蒸發(fā)區(qū)域,減少材料向外飛散。
  • 離子源弧光室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與材質(zhì)選擇是影響離子束穩(wěn)定性的基礎(chǔ)因素。合理的弧光室結(jié)構(gòu)能夠確保內(nèi)部等離子體均勻分布,減少離子束的波動(dòng)。例如,采用特殊形狀的內(nèi)壁設(shè)計(jì),可優(yōu)化電場(chǎng)分布,避免局部電場(chǎng)過(guò)強(qiáng)引發(fā)離子束發(fā)散。
  • 蒸發(fā)臺(tái)配件在薄膜制備過(guò)程中起著關(guān)鍵作用,其中蒸發(fā)臺(tái)電子槍配件更是直接影響蒸鍍材料的蒸發(fā)效率與沉積質(zhì)量。電子槍配件的性能由多項(xiàng)核心參數(shù)共同決定,深入了解這些參數(shù),對(duì)于優(yōu)化蒸發(fā)臺(tái)工作效能、保障薄膜制備精度至關(guān)重要。
  • 注入機(jī)離子源燈絲材料是影響發(fā)射效率的核心要素。不同材質(zhì)的燈絲在逸出功、耐高溫性等方面存在差異,鎢、鉭等金屬因其低逸出功和良好的高溫穩(wěn)定性成為常用材料,合理選擇與處理燈絲材料,能夠提升電子發(fā)射能力。
  • 安裝注入機(jī)離子源配件前,需完成全面準(zhǔn)備工作。首先,技術(shù)人員要仔細(xì)核對(duì)配件型號(hào)、規(guī)格與設(shè)備適配性,確保配件與注入機(jī)設(shè)計(jì)參數(shù)匹配;同時(shí),準(zhǔn)備好適配的安裝工具,對(duì)操作環(huán)境進(jìn)行清潔除塵,避免雜質(zhì)影響配件性能。

離子源弧光室

蒸發(fā)臺(tái)配件

蒸發(fā)臺(tái)坩堝

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